SEMICON JAPAN 2008 のお礼

  • SEMICON JAPAN 2008 logo

幕張メッセで開催されましたSEMICON JAPAN 2008(期間12/3~5)は、盛況の内に終了しました。
お忙しい折りにもかかわらず、当社ブースにお越し頂きましたお客さまには、この場を借りて、厚くお礼申し上げます。
出展機または弊社製品に関する詳細はお気軽にお問い合わせください。

会 期
2008年12月3日(水)~5日(金)
会 場
幕張メッセ
ブース
8ホール 8C-806
  • SEMICON JAPAN 2009 booth

出展機のご紹介

SORTER SYSTEM (150mm用)

SORTER SYSTEM

新製品のロボットを搭載した、ミニエンバイロメントシステムでの提案。 優れたコストパフォーマンスと高スループットを実現致しました。

50mm~100mmウェーハ対応大気用シングルアーム搬送ロボット&アライナ

大気用シングルアーム搬送ロボット&アライナ

小型ウェーハ専用に開発され、省フットプリントを実現したロボットとアライナ。

大気用ツインアーム搬送ロボット

大気用ツインアーム搬送ロボット

全軸ACサーボモータ使用により高速搬送、優れたコストパフォーマンスを実現致しました。

大気用4軸水平多関接シングルアーム搬送ロボット

大気用4軸水平多関接シングルアーム搬送ロボット

長い間御好評頂いております2FOUP並列レイアウトへアクセス可能なロボット(ステッピングモーター仕様)の後継機のうち、全軸ACサーボモーターを使用したタイプ。更なる高速搬送、コストパフォーマンスを実現致しました。

450mmウェーハへの取り組み 大気用4軸水平多関接シングルアーム搬送ロボット

大気用4軸水平多関接シングルアーム搬送ロボット

高剛性、高速搬送を実現したロボットで450mmウェーハの搬送。

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