展示会情報 2022年

SEMICON KOREA 2022

会期

2022年02月09日（水）～02月11日（金）

主な展示機種

• φ300 mm対応 GTFR
• φ300 mm対応 新型低頭SAL-HV
• φ300 mm 25枚バッチ搬送ロボットKHR
• φ150、200 mm 化合物対応STCR
• φ150、200 mm 化合物対応SAL
• φ300 mm用テープフレーム搬送MTCR
• 5軸水平多関節 GTCR
• 4軸円筒座標型 STCR
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