展示会情報 2022年

SEMICON KOREA 2022

会期
2022年02月09日(水)~02月11日(金)
主な展示機種
  • φ300 mm対応 GTFR
  • φ300 mm対応 新型低頭SAL-HV
  • φ300 mm 25枚バッチ搬送ロボットKHR
  • φ150、200 mm 化合物対応STCR
  • φ150、200 mm 化合物対応SAL
  • φ300 mm用テープフレーム搬送MTCR
  • 5軸水平多関節 GTCR
  • 4軸円筒座標型 STCR