展示会情報 2023年

SEMICON JAPAN 2023

会期

2023年12月13日（水）～12月15日（金）

主な展示機種

• φ200㎜ SMIF POD対応システム SSY
• 高精度アライナ SAL-HV
• ウェーハアライメント対応真空搬送ロボット STVCR
• TAIKO™、薄物ウェーハ搬送ロボット STCR
※TAIKO™は、株式会社ディスコ（DISCO Corporation）の商標または登録商標です。
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SEMICON EUROPA 2023

会期

2023年11月14日（火）～11月17日（金）

主な展示機種

• 6・8インチ対応 ロボット+アライナ（エッジグリップ）
• 8インチ対応 反転付ロボット+ベルヌーイアライナ
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SEMICON TAIWAN 2023

会期

2023年09月06日（水）～09月08日（金）

主な展示機種

• φ300 mm対応 GTFR
• 真空ロボット SVCR
• プロトスキャリア対応自動移載システム SSY
• φ300 mm対応 SAL-HV
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SEMICON CHINA 2023

会期

2023年06月29日（木）～07月01日（土）

主な展示機種

• 反転付SCR3160＋ReJe製SMIF
• 真空ロボットSVCR2260
• EFEM（STCR4200[擬似多軸仕様]＋SAL38C3HV＋TDK製L/P）
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SEMICON KOREA 2023

会期

2023年02月01日（水）～02月03日（金）

主な展示機種

• φ300 mm対応 GTFR
• φ300 mm対応 SAL-HV
• ベルヌーイチャック（φ200 mm, φ300 mm対応）
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