SEMICON JAPAN 2010 のお礼

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幕張メッセで開催されましたSEMICON JAPAN 2010(期間12/1~3)は、盛況の内に終了しました。
お忙しい折りにもかかわらず、当社ブースにお越し頂きましたお客さまには、この場を借りて、厚くお礼申し上げます。
出展機または弊社製品に関する詳細はお気軽にお問い合わせください。

会 期
2010年12月1日(水)~3日(金)
会 場
幕張メッセ
ブース
4A-501
  • SEMICON JAPAN 2010 booth

出展機のご紹介

SORTER SYSTEM (150mm用)

SORTER SYSTEM (150mm用)

LED用をはじめとするウェーハ用搬送システムの新しい搬送提案です。システム内でウェーハをカセットから取り出し、アライメントし装置ステージに渡します。省フットプリントにより、搬送部の省スペース化が出来ます。

サセプタ搬送真空ロボット&真空アライナ:「SVCR3330S-060-PM/SVAL30D1」

SVCR3330S-060-PM/SVAL30D1 SVCR3330S-060-PM/SVAL30D1

複数枚のウェーハを搭載したサセプタを真空中で搬送します。耐荷重を上げ、入替時間を短縮する為にツインチャックでのご提案です。また、真空中でサセプタをアライメントできる真空アライナを開発しました。各種トレーサイズ、形状に対応可能です。

小型ロボット&アライナ (2~4インチ用):「SSCR3115N-150-PM&SSCR2090S-PM&SAL3241GR」

SSCR3115N-150-PM&SSCR2090S-PM&SAL3241GR

LED用をはじめとする小径ウェーハ専用に開発され、2~4インチウェーハ搬送での省フットプリントを実現した大気用搬送ロボットとアライナです。 ロボットはアームレスとリンクアームの2種類を用意しました。

450mmウェーハ対応水平多関節型搬送ロボット:「GTCR5280-420-AM」

GTCR5280-420-AM

大気用5軸水平多関節のツインチャック仕様で並列レイアウトへアクセス可能な450mm ウェーハ搬送対応。420mm昇降軸。ツインチャック仕様によりウェーハ交換時間の短縮が出来ます。

ウェーハ搬送ロボット:「MTCR4160S-300-AM」

MTCR4160-300-AM

LED用をはじめとする小径基板用テープフレームの新しい搬送提案です。フレームをクリップ式のチャックで挟みこんで搬送する事により、カセットからの取り出し後に持ち直しを不要とし、且つカセット内の全スロットに収納されているフレーム搬送を実現しました。また、弊社製のACサーボコントローラでの駆動も可能です。