LED用をはじめとするウェーハ用搬送システムの新しい搬送提案です。システム内でウェーハをカセットから取り出し、アライメントし装置ステージに渡します。省フットプリントにより、搬送部の省スペース化が出来ます。

複数枚のウェーハを搭載したサセプタを真空中で搬送します。耐荷重を上げ、入替時間を短縮する為にツインチャックでのご提案です。また、真空中でサセプタをアライメントできる真空アライナを開発しました。各種トレーサイズ、形状に対応可能です。

LED用をはじめとする小径ウェーハ専用に開発され、2～4インチウェーハ搬送での省フットプリントを実現した大気用搬送ロボットとアライナです。ロボットはアームレスとリンクアームの2種類を用意しました。