SEMICON TAIWAN 2011は、盛況の内に終了しました。
お忙しい折りにもかかわらず、台湾代理店 Challentech International Corporation のブースにお越し頂きましたお客さまには、この場を借りて、厚くお礼申し上げます。
出展機または弊社製品に関する詳細はお気軽にお問い合わせください。
LED用をはじめとする小径ウェーハ専用に開発され、2~4インチウェーハ搬送での省フットプリントを実現した大気用搬送ロボットとアライナです。ロボットはアームレスとリンクアームの2種類を用意しました。
スーパークリーンルーム用300mm対応MTCRシリーズで、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で優れたコストパフォーマンスを実現しました。