SEMICON JAPAN 2011 のお礼
幕張メッセで開催されましたSEMICON JAPAN 2011（期間12/7～9）は、盛況の内に終了しました。
特にランダムアクセスできる「反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック」や「卓上ローダーシステム」については非常に多くの引き合いを頂きました。
お忙しい折りにもかかわらず、当社ブースにお越し頂きましたお客さまには、この場を借りて、厚くお礼申し上げます。
出展機または弊社製品に関する詳細はお気軽にお問い合わせください。
- 会 期
- 2011年12月07日(水)～09日(金)
- 会 場
- 幕張メッセ
- ブース
- 5B-607
出展機のご紹介
バッチ（サセプタ、トレイ）へのロード/アンロードシステム：「SSY-10020」
LED用をはじめとするウェーハ用搬送システムの新しい搬送提案です。サセプタ（トレイ）へのウェーハの自動供給、自動回収するためのシステムを提案します。
反り、薄物ウェーハ対応チャック
多くのお客様のニーズにお応えし、反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックを開発しました。お客様のコンセプトに合わせたチャック形状の提案を行います。
2インチウェーハ対応超小型搬送ロボット/アライナ：「SSCR3090S-150-PM/SAL2241」
搬送ロボットとして世界最小クラスのボディサイズを実現しました。アライナは2～4インチウェーハのアライメントを1台で行います。
450mmウェーハ対応水平多関節型搬送ロボット：「GTCR5280-420-AM」
450mm対応装置用の搬送ロボットとして、ツインチャックで高スループットを可能にします。当社従来比20％増の搬送速度を実現しました。
300mmウェーハ対応円筒座標型搬送ロボット：「MTCR4160-300-AM」
ACサーボモータを搭載したツインアームロボットの小型コントローラを開発。当社従来比65％体積減のコントローラの小型化を実現しました。
卓上ローダーシステム：「SSY-10000」
人が手でウェーハを取り扱うことによるリスクを解消し、品質の安定と歩留まりの向上を目的としたウェーハ供給システムを提案します。