LED用をはじめとするウェーハ用搬送システムの新しい搬送提案です。
サセプタ（トレイ）へのウェーハの自動供給、自動回収するためのシステムを提案します。

多くのお客様のニーズにお応えし、反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックを開発しました。 お客様のコンセプトに合わせたチャック形状の提案を行います。

搬送ロボットとして世界最小クラスのボディサイズを実現しました。
アライナは2～4インチウェーハのアライメントを1台で行います。

人が手でウェーハを取り扱うことによるリスクを解消し、品質の安定と歩留まりの向上を目的としたウェーハ供給システムを提案します。

2～6インチウェーハを1台のロボット、アライナで搬送することを実現しました。コンパクトな搬送部を提案します。