多くのお客様のニーズにお応えし、反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックを開発しました。 お客様のコンセプトに合わせたチャック形状の提案を行います。

2～6インチウェーハを1台のロボット、アライナで搬送することを実現しました。 コンパクトな搬送部を提案します。

走行軸無しで平行に配置された2つのFOUPカセットにウェーハの高速搬送が可能です。 300mmウエーハ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの高速搬送に適しています。