6インチ・12インチウェーハ用ベルヌーイチャックによるサンプルウェーハの保持デモを行いました。

• 反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです
• 弊社の大気環境搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です
• サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います

多くのお客様のニーズにお応えし、反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックを開発しました。 お客様のコンセプトに合わせたチャック形状を提案します。

2～6インチウェーハを1台のロボット、アライナで搬送することを実現しました。 コンパクトな搬送部を提案します。

LED用をはじめとするウェーハ用搬送システムの新しい搬送提案です。
サセプタ、トレイへのウェーハの自動供給、自動回収するためのシステムを提案します。