450mmウェーハの搬送ロボットとアライナをご提案します。
走行軸無しで水平アクセス可能なタイプと、走行軸付タイプを出展致しました。 お客様のニーズに合った搬送のご提案を行います。

多くのお客様のニーズにお応えし、お求め易い価格のベルヌーイチャックを開発致しました。
反り・薄物ウェーハ対応チャックとして、お客様の装置コンセプトに合わせたチャック形状でご提案致します。
展示会場では300mmウェーハや、お客様にお持ち頂いた150～300mmワークにて、テストして頂きました。

薄物ウェーハを、ジェーイーエル製ベルヌーイチャックを使い実搬送します。 150、200mmの薄物ウェーハを、ツインアーム反転機構のロボットで搬送します。 また、150、200mm兼用の薄物用アライナも合わせてご提案致します。 両アームともに反転機構付きで、150、200mmを同時に搬送します。

1台のロボットと1台のアライナで、2、3インチ、100～150mmウェーハに対応します。 コンパクトかつフレキシビリティに富んだ装置をご提案致します。