新しいLEDサファイアウェーハ自動搬送システムの提案です。
サセプタ（トレイ）へのウェーハの自動供給、自動回収を正確かつスピーディーに行います。
お客様のコンセプトに合わせたシステム提案を行います。

多くのニーズにお応えし、お求め易い価格のベルヌーイチャックを開発致しました。
サファイアウェーハ等の反り、薄物ウェーハ、照明用小型ガラス基板などの搬送に対応したチャックとして、お客様の装置コンセプトに合わせたチャック形状での提案を行います。 展示会場ではベルヌーイチャックを手に触れてご覧頂きました。

薄物ウェーハ、照明用小型ガラス基板の搬送を、ベルヌーイチャックで搬送提案します。
薄物150、200mmの薄物ウェーハを、ジェーイーエル製ベルヌーイチャックを使い実搬送します。
また、薄物150、200mmインチ兼用の薄物ウェーハ用アライナも合わせて提案します。

LED用サファイアウェーハ2、3インチ、100～150mmウェーハサイズを安全かつ高精度に搬送できるロボットとウェーハを高精度に位置決め、ウェーハの中心出しができるアライナを提案します。
コンパクトかつフレキシビリティに富んだ装置レイアウトを提案します。