薄物ウェーハなどをベルヌーイ保持できる軽量、コンパクトなピンセットです。
先端部がフレキシブルに動くことで平置きはもちろん、ウェーハケースやウェーハカセットからの取出・収納が可能です。
又、ウェーハのみならず、様々な特殊ワークに対応が可能です。

多くのお客様のニーズにお応えし、お求め易い価格のベルヌーイチャックを開発致しました。
反り・薄物ウェーハ対応チャックとして、お客様の装置コンセプトに合わせたチャック形状でご提案致します。

全軸ACサーボモータ使用により、高速搬送と優れたコストパフォーマンスを実現しました。

1台のロボットと1台のアライナで、2、3インチ、100、150mmウェーハに対応します。
コンパクトかつフレキシビリティに富んだ装置をご提案致します。