SEMICON JAPAN 2013 のお礼
幕張メッセで開催されましたSEMICON JAPAN 2013（期間12/4～6）は、盛況の内に終了しました。
お忙しい折りにもかかわらず、当社ブースにお越し頂きましたお客さまには、この場を借りて、厚くお礼申し上げます。
出展機または弊社製品に関する詳細はお気軽にお問い合わせください。
- 会 期
- 2013年12月04日(水)～06日(金)
- 会 場
- 幕張メッセ
- ブース
- 4A-501
出展機のご紹介
450mmウェーハ搬送ロボット/450mmウェーハアライナ：
「GCR4280-420-AM/SAL30J1HV(新型機)」
450mmウェーハを反転、エッジグリップ保持できるロボットにて高速搬送デモを行いました。
ノッチレスウェーハにも対応した新型アライナ。
ウェーハ搬送ロボット/ウェーハアライナ：
「STCR4160SN-300-PM(新型機)/SAL3481HV(新型機)」
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した新型ツインアームロボット。
各種ウェーハ材質に対応した新型アライナ。
卓上ローダーシステム：
「SSY-10000」
2、3インチ、100mm ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハに対応。
ウェーハ搬送ロボット/ベルヌーイアライナ：
「STCR4160SN-300-PM(新型機)/SAL3481」
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した新型ツインアームロボット。
- ウェーハ外周5mm吸着チャック：ランダムアクセスが可能
- 薄型ベルヌーイチャック＜特許出願中＞：反りウェーハ、薄物ウェーハをカセットスロットへランダムアクセス可能。
反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック、ベルヌーイピンセット：
「ベルヌーイピンセット：BRP-01」
ローコスト＆カスタマイズ設計のベルヌーイチャック。