低価格、高速搬送、脱調レスを実現した新型ツインアームロボット。
小サイズのワークから300mmウェーハ、ガラス基板のワーク搬送が可能です。
さまざまな材質のウェーハに対応した新型アライナ。

2、3インチ、100mm ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハやガラス基板に対応。
卓上にある顕微鏡や検査装置の半自動化を行うのに最適です。

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した新型ツインアームロボット。
小サイズのワークから300mmウェーハ、ガラス基板のワーク搬送が可能です。
反りウェーハ、薄物ウェーハに対してベルヌーイ方式で保持し、アライメント可能にしました。

• ウェーハ外周5mm吸着チャック：ランダムアクセスが可能。
  裏面接触せず、外周周辺5mmを吸着搬送します。
• 薄型ベルヌーイチャック＜特許出願中＞：今までカセット内で倍ピッチでしか搬送できなかった反りウェーハ、薄物ウェーハをカセット全段に収納された状態でランダムにアクセス、搬送が可能になります。

ローコスト＆カスタマイズ設計のベルヌーイチャック。
展示会では手にとってベルヌーイ保持をご体感頂きました。