東京ビッグサイトで開催されましたSEMICON JAPAN 2014(期間12/3~5)は、盛況の内に終了しました。
お忙しい折りにもかかわらず、当社ブースにお越し頂きましたお客さまには、この場を借りて、厚くお礼申し上げます。
出展機または弊社製品に関する詳細はお気軽にお問い合わせください。
プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました。
搬送物破損など、エラー発生時の検証を実現しました。
縦型炉などのピッチの異なるカセットに対する高速搬送を実現しました。
搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
医療、バイオ関連施設などの無菌室やクリーン環境下での搬送の自動化を提案します。