SEMICON JAPAN 2014 のお礼

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東京ビッグサイトで開催されましたSEMICON JAPAN 2014(期間12/3~5)は、盛況の内に終了しました。
お忙しい折りにもかかわらず、当社ブースにお越し頂きましたお客さまには、この場を借りて、厚くお礼申し上げます。
出展機または弊社製品に関する詳細はお気軽にお問い合わせください。

会 期
2014年12月03日(水)~05日(金)
会 場
東京ビッグサイト
ブース
東展示棟 ホール4 4182
  • Our booth at SEMICON JAPAN 2014

出展機のご紹介

プロトスキャリア対応自動移載システム

プロトスキャリア対応自動移載システム

プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました。

ロガーシステム

ロガーシステム

搬送物破損など、エラー発生時の検証を実現しました。

5枚一括可変チャック搭載ロボット

5枚一括可変チャック搭載ロボット

縦型炉などのピッチの異なるカセットに対する高速搬送を実現しました。

2インチ搬送システム

2インチ搬送システム

搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

シャーレ搬送ロボット

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室やクリーン環境下での搬送の自動化を提案します。

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