第7回次世代照明技術展 のお礼

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東京ビッグサイトで開催されました第7回次世代照明技術展(期間1/14~16)は、盛況の内に終了しました。
お忙しい折りにもかかわらず、当社ブースにお越し頂きましたお客さまには、この場を借りて、厚くお礼申し上げます。
出展機または弊社製品に関する詳細はお気軽にお問い合わせください。

会 期
2015年01月14日(水)~16日(金)
会 場
東京ビッグサイト
ブース
東展示棟 東47-4
  • Our booth at 第7回次世代照明技術展

出展機のご紹介

プロトスキャリア対応自動移載システム

プロトスキャリア対応自動移載システム

プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました。

ロガーシステム

ロガーシステム

搬送物破損など、エラー発生時の検証を実現しました。

2インチ搬送システム

2インチ搬送システム

搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

卓上ローダーシステム

卓上ローダーシステム

2、3インチ、100mm ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハに対応。

反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック、ベルヌーイピンセット

反り、薄物ウェーハ対応ベルヌーイチャック、ベルヌーイピンセット

ローコスト&カスタマイズ設計のベルヌーイチャック。
展示会では手にとってベルヌーイ保持をご体感頂きました。