SEMICON CHINA 2015 のお礼
SEMICON CHINA 2015 は、盛況の内に終了しました。
お忙しい折りにもかかわらず、Beijing ReJe Automation Co., Ltd. のブースにお越し頂きましたお客さまには、厚くお礼申し上げます。
出展機または弊社製品に関する詳細はお気軽にお問い合わせください。
- 会 期
- 2015年03月17日（火）～19日（木）
- 会 場
- 上海新国際博覧センター（SNIEC）
- ブース
- 5106
出展機のご紹介
2インチ搬送システム
搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
ロガーシステム
搬送物破損など、エラー発生時の検証を実現しました。
プロトスキャリア対応自動移載システム
プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました。
卓上ローダーシステム
2、3インチ、100mm ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハに対応。
300mmウェーハ搬送ロボット
走行軸無しで平行に配置された2つのFOUPカセットにウェーハの搬送が可能です。
300mmウェーハ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの高速搬送に適しています。