SEMICON CHINA 2016 のお礼

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SEMICON CHINA 2016 は、盛況の内に終了しました。
お忙しい折りにもかかわらず、Beijing ReJe Automation Co., Ltd. のブースにお越し頂きましたお客さまには、厚くお礼申し上げます。
出展機または弊社製品に関する詳細はお気軽にお問い合わせください。

会 期
2016年03月15日(火)~17日(木)
会 場
上海新国際博覧センター(SNIEC)
ブース
1505(ホールN1)
  • Our booth at SEMICON CHINA 2016

出展機のご紹介

プロトスキャリア対応自動移載システム

プロトスキャリア対応自動移載システム

プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました。

独立昇降軸付水平多関節ロボット(DGCR)(参考出展)

独立昇降軸付水平多関節ロボット(DGCR)(参考出展)

ふたつの昇降軸が別々に動くことによって、ローダ、アンローダの分かれている装置に対して高スループットを実現します。

テープフレーム搬送ロボット

テープフレーム搬送ロボット

テープフレーム搬送を安全かつ確実に搬送します。
150mm用、200mm用、300mm用のテープフレームに対応します。

300mmウェーハ搬送ロボット

300mmウェーハ搬送ロボット

走行軸無しで平行に配置された2つのFOUPカセットにウェーハの搬送が可能です。
300mmウェーハ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの高速搬送に適しています。

JELアラインツール(アライメント調整ソフト)

JELアラインツール(アライメント調整ソフト)

自分で簡単にウェーハのアライメントができるアライメント調整ソフト。
ダウンタイムの大幅削減に貢献します。

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