出展機のご紹介
疑似多軸ツインアームロボット
並列配置されたカセットに対して走行軸無で搬送可能です。
旋回軸とアーム軸を同時に動かす事によって、直進動作を可能にしています。
水平多関節シングルアームロボット
並列配置されたカセットに対して走行軸無で搬送可能です。
チャックの向きが水平カセットに対して直線移動し、エッジグリップや角基板でも対応できます。
新型アライナ「SAL3000HVシリーズ」フルオート調整対応版
フルオート調整機能ソフト「JELアラインツール」により、多種多用なウェーハに対し自動最適化したアライメントを実現。