SEMICON CHINA 2019

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中国の弊社販売窓口の一つである、Beijing ReJe Automation Co., Ltd.ブースにて弊社ロボットを出展します。
ご来場の皆様には弊社製品の性能を実感頂けます様、各種実機を用いての展示を実施致します。
お客様のご来場を心よりお待ちしています。

会 期
2019年03月20日(水)~03月22日(金)
会 場
SNIEC(上海新国際博覧センター)(中国、上海)
ブース
No. 2257
リンク
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  •  出展機のご紹介
  • Our booth at SEMICON CHINA 2018
  • SEMICON CHINA 2018のReJeブースの様子

出展機のご紹介

プロトスキャリア対応自動移載システム「SSY」

プロトスキャリア対応自動移載システム「SSY」

パッケージ/アンパッケージを1台で対応。
プロトスキャリア蓋自動開閉。
プロトスキャリアベースを可動式にすることで、蓋開閉機構を簡略化し、コンタミの発生を抑制。
ウェーハ、スペーサを自動識別。

ウェーハ搬送用新型ロボット「MTCR」(参考出展)

ウェーハ搬送用新型ロボット「MTCR」(参考出展)

半導体デバイスの微細化に伴い、低振動を実現。
可搬質量3kg,5kgの2種類のアームをラインナップ。より細かなカスタマイズに対応。

反り対応新型アライナ「SAL3000HVシリーズ」(参考出展)

反り対応新型アライナ「SAL3000HVシリーズ」(参考出展)

フルオート調整機能ソフト「JELアラインツール」により、多種多用なウェーハに対し自動最適化したアライメントを実現。
反りが大きいウェーハに対応。