SEMICON WEST 2019

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ASUZAC INC.ブースにて弊社ロボットを出展します。
ご来場の皆様には弊社製品の性能を実感頂けます様、実機を用いての展示を実施致します。
お客様のご来場を心よりお待ちしています。

会 期
2019年07月09日(火)~07月11日(木)
会 場
Moscone Center San Francisco, CA(アメリカ)
リンク
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  •  出展機のご紹介

出展機のご紹介

ウェーハ搬送用ロボット「STCR」

ウェーハ搬送用ロボット「STCR」

参考写真

急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上。
アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮。

光学式アライナ「SAL」

光学式アライナ「SAL」

参考写真

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。
シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め。