SEMICON WEST 2019 のお礼

  • SEMICON WEST 2019 banner

SEMICON WEST 2019 は、盛況の内に終了しました。
お忙しい折りにもかかわらず、ASUZAC INC.のブースにお越し頂きましたお客さまには、厚くお礼申し上げます。
出展機または弊社製品に関する詳細はお気軽にお問い合わせください。

会 期
2019年07月09日(火)~07月11日(木)
会 場
Moscone Center San Francisco, CA(アメリカ)
ブース
No. 6349
  •  出展機のご紹介
    Our booth at SEMICON WEST 2019
  • SEMICON WEST 2019のASUZAC INC.ブースの様子

出展機のご紹介

ウェーハ搬送用ロボット「STCR」

ウェーハ搬送用ロボット「STCR」

参考写真

急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上。
アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮。

光学式アライナ「SAL」

光学式アライナ「SAL」

参考写真

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。
シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め。