出展機のご紹介
プロトスキャリア対応自動移載システム「SSY」
パッケージ/アンパッケージを1台で対応。
プロトスキャリア蓋自動開閉。
プロトスキャリアベースを可動式にすることで、蓋開閉機構を簡略化し、コンタミの発生を抑制。
ウェーハ、スペーサを自動識別。
ウェーハ搬送用新型ロボット「MTCR」（参考出展）
半導体デバイスの微細化に伴い、低振動を実現。
可搬質量3kg，5kgの2種類のアームをラインナップ。より細かなカスタマイズに対応。
反り対応新型アライナ「SAL3000HVシリーズ」（参考出展）
フルオート調整機能ソフト「JELアラインツール」により、多種多用なウェーハに対し自動最適化したアライメントを実現。
反りが大きいウェーハに対応。