SEMICON TAIWAN 2019 のお礼

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SEMICON TAIWAN 2019は、盛況の内に終了しました。
お忙しい折りにもかかわらず、当社ブースにお越し頂きましたお客さまには、この場を借りて厚くお礼申し上げます。
出展機または弊社製品に関する詳細はお気軽にお問い合わせください。

会 期
2019年09月18日(水)~09月20日(金)
会 場
Taipei Nangang Exhibition Center(台湾)
ブース
No. I3116
  •  出展機のご紹介
  • Our booth at SEMICON TAIWAN 2019
  • SEMICON TAIWAN 2019のブースの様子

出展機のご紹介

プロトスキャリア対応自動移載システム「SSY」

プロトスキャリア対応自動移載システム「SSY」

パッケージ/アンパッケージを1台で対応。
プロトスキャリア蓋自動開閉。
プロトスキャリアベースを可動式にすることで、蓋開閉機構を簡略化し、コンタミの発生を抑制。
ウェーハ、スペーサを自動識別。

ウェーハ搬送用新型ロボット「MTCR」(参考出展)

ウェーハ搬送用新型ロボット「MTCR」(参考出展)

半導体デバイスの微細化に伴い、低振動を実現。
可搬質量3kg,5kgの2種類のアームをラインナップ。より細かなカスタマイズに対応。

反り対応新型アライナ「SAL3000HVシリーズ」(参考出展)

反り対応新型アライナ「SAL3000HVシリーズ」(参考出展)

フルオート調整機能ソフト「JELアラインツール」により、多種多用なウェーハに対し自動最適化したアライメントを実現。
反りが大きいウェーハに対応。