オプション

3D-02229吸着チャック

  • 3D-02229

環境と仕様

製品概要

製品型式
3D-02229
被搬送サイズ
150〜300 mm
被搬送物
主にシリコンウェーハなど

製品特徴

Y型の真空吸着チャックです。
ウェーハサイズ150 mm、200 mm、300 mmの搬送に適しています。(ランダムアクセス対応)
大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。
チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。

※チャックは、ワークを搬送するためにロボットのアーム部先端に取り付けるもので、ワークに適した様々な形状及び材質があります。チャックは、別名でロボットハンドやエンドエフェクタとも呼ばれています。

標準仕様

その他の詳細仕様につきましてはお問い合わせ下さい
被搬送物SEMI規格150~300 mm 主にシリコンウェーハなど
材質高純度アルミナセラミックス焼結体
表面処理導電性テフロンコーティング
ウェーハ保持方式真空吸着
全長242 mm
厚み2 mm

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 外観図(標準仕様)

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