ウェーハチャック

品名:吸着チャック | 型式: 3D-02229 | メーカー: JEL



99,000円(税込)
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商品説明

Y型の真空吸着チャックです。
ウェーハサイズ150mm、200mm、300mmの搬送に適しています。(ランダムアクセス対応)
大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。
チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。

仕様
被搬送物 SEMI規格150mm~300mm 主にシリコンウェーハなど
材質 高純度アルミナセラミックス焼結体
表面処理 導電性テフロンコーティング
ウェーハ保持方式 真空吸着
全長 242mm
厚み 2mm

※チャックは、ワークを搬送するためにロボットのアーム部先端に取り付けるもので、ワークに適した様々な形状及び材質があります。
チャックは、別名でロボットハンドやエンドエフェクタとも呼ばれています。


外観図
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部品の交換に際しては、お客様の自己責任のもと行って下さい。お客様作業による、ロボットの故障及びその他不具合に関しましては、全て有償修理となりますので留意下さい。
また、これにより生じるお客様の損害に対し弊社は一切の責任を負いません。予めご了承下さい。

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