技術情報

ベルヌーイチャックの仕組み

  • ベルヌーイチャックの仕組み

供給ポートから導入されたエアが円筒部側面にあるノズルから噴き出され、円筒部内部で旋回流となり真空を発生させます。(サイクロン効果)
供給エアは吸着面とウェーハの間から、大気に放出されます。
その結果、サイクロンパッドとウェーハの間にエア層が発生し、非接触での吊上げが可能になります。

製品特徴

用途に応じてベルヌーイ方式、サイクロン方式の選択が可能です。

ベルヌーイ方式

  • 多くのお客様のニーズにお応えし、反り・薄物ウェーハに対応した低価格チャックを開発。
  • 様々なワークサイズ、形状に対応が可能です。
  • ウェーハを低ストレスで保持することが可能となり、ウェーハへのダメージを最小限とします。
  • ベルヌーイ方式の特徴はチャックの厚みを薄くできます。

サイクロン方式

  • 直径25mm、厚さ2.5mmのサイクロンパッドを搭載。
  • 様々なワークサイズ、形状に対応可能。
  • ベルヌーイアライナにも対応可能。
  • サイクロン方式の特徴はベルヌーイ方式と比べて強い保持力を有します。

対象機種

リンク先より製品ページをご覧頂けます。
各種カスタマイズを承りますので、お気軽にご用命ください。