供給ポートから導入されたエアが円筒部側面にあるノズルから噴き出され、円筒部内部で旋回流となり真空を発生させます。(サイクロン効果)
供給エアは吸着面とウェーハの間から、大気に放出されます。
その結果、サイクロンパッドとウェーハの間にエア層が発生し、非接触での吊上げが可能になります。
用途に応じてベルヌーイ方式、サイクロン方式の選択が可能です。
リンク先より製品ページをご覧頂けます。
各種カスタマイズを承りますので、お気軽にご用命ください。
ベルヌーイピンセット(BRP-01, BRP-02)
(※画像はBRP-01です)