ガラス基板搬送ロボット

LVHR3440S (ガラス基板対応)3軸円筒座標型真空ロボット

  • LVHR3440S-040-SM
    画像はLVHR3440S-040-SMです

環境と仕様

製品概要

モデル名
LVHR3440S
設置環境
クリーンルーム内大気:温度 15℃〜40℃
※真空ロボットの場合…真空チャンバ内温度: 15℃〜50℃以下
アーム
シングルアーム
到達距離
880 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
20 mm/ 32 mm/ 40 mm/ 60 mm/ 320 mm
可搬質量
10 kg以下 (第3関節換算)

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
LVHR3440S-020-SM20 mm
LVHR3440S-032-SM32 mm
LVHR3440S-040-SM40 mm
LVHR3440S-060-SM60 mm
LVHR3440S-320-SM320 mm

製品特徴

ガラス基板対応の3軸円筒座標型真空対応クリーンロボット LVHR3000シリーズです。
上下軸によって処理室側のリフトアップ・ダウン動作が不要となり、処理室が多い場合には装置のコストダウンに貢献します。
マルチトランスファチャンバなどで多く使用されています。
液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。

  • 可搬質量:第3関節にて10 kg以下
  • アーム関節部には磁性流体シール装備
  • 真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用
  • クリーン対応:アーム内排気用に5µmメッシュフィルタ装備
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸ACサーボモータ使用
  • S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送
  • チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

標準仕様

本仕様はLVHR3440S-040-SMの代表的な仕様です
ロボット仕様
ロボット型式LVHR3440S-040-SM
被搬送物730×920×1.1 mm ガラス基板(代表例)
機械構造形式円筒座標型
制御軸3軸
モータタイプACサーボモータ
動作範囲アーム第3関節中心:880 mm
旋回角度(θ軸):±182度
上下ストローク(Z軸):40 mm
搬送速度アーム(R軸):1320 mm/2.7 sec
旋回角度(θ軸):180度/1.8 sec
上下ストローク(Z軸):40 mm/2.0 sec
分解能アーム(R軸):13.5µm以下
旋回角度(θ軸):0.00097度
上下ストローク(Z軸):0.61 µm以下
搬送レベル168.5 mm(フランジ取付面より上チャックの搬送面まで)
繰り返し精度±0.2 mm以内
クリーン対策磁性流体シール及びフィルタにより対策
耐真空度1.33×10-6Pa
ユーティリティ電源:単相 AC200V±10% 2 kVA
コントローラ仕様
コントローラ型式C5000Sシリーズ
インタフェースRS232C及びパラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • LVHR3440S-040-SM

オプション

チャックユニット

※当社標準以外のチャックユニットは下記アイテムをクリックするとご覧頂けます。

その他のオプション