アライナ
SAL2081（エッジグリップ仕様）ウェーハ用アライナ
環境と仕様
製品概要
- 製品型式
- SAL2081
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- 被搬送サイズ
- 200 mm
- 被搬送物
- シリコンウェーハ
製品特徴
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。
- 小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現
- 小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め
標準仕様
| ロボット仕様 | |
|---|---|
| 被搬送物 | SEMI規格 200 mm シリコンウェーハ（ノッチ仕様） |
| 位置決め時間 | ノッチサーチ 15秒以内（持ち直し無の場合） |
| 位置決め精度 | センタリング：±0.2 mm以内 ノッチロケート：±0.2度以内 |
| センサ | 赤色LED透過式センサ |
| ウェーハ保持方式 | ウェーハグリップアームによるエッジグリップ方式 |
| クリーン度 | 0.1 µm/cf クラス1（駆動部排気時） |
| 駆動方式 | 小型ステッピングモータを各軸に使用(モータドライバは内蔵しております) |
| ユーティリティ | お問い合わせ下さい |