アライナ
SAL3482HV(マルチワークアライナ)ウェーハ用アライナ
環境と仕様
製品概要
- 製品型式
- SAL3482HV
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- 被搬送サイズ
- 100 mm〜200 mm
- 被搬送物
- 透明, 半透明, シリコンウェーハ
製品動画
- 画像はSAL38C3HVです
- 動画はフルオート調整機能ソフト「JELアラインツール」です。
製品特徴
新型アライナSAL3000HVシリーズフルオート調整対応版
2016年12月14日リリースのアライナSAL3000HVシリーズからフルオート調整対応版のJELアラインツールが付属。
多種多用なウェーハのアライメントが可能で、ダウンタイムの大幅削減に貢献します。
新型アライナ「SAL3000HVシリーズ」フルオート調整対応版（※）の詳細はこちら
（※）このソフトウェアは調整後の位置決め精度を保証するものではありません。その為、調整後の位置決め精度に関しては、お客様所有の機器にてご確認をお願い致します。
各種ウェーハに対応した100〜200 mm新型アライナ。
- シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ（乳白色）付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずにセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め
- 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵
- ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能
ベルヌーイスピンドルも搭載可能 - 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- SEMI規格にない形状のノッチ、オリフラ等への対応も可能
- ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きもオプションにて設定しています
標準仕様
| 被搬送物 | SEMI規格 ウェーハ（透明、半透明、シリコン）100〜200 mm （その他特殊なワーク及び材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） |
|---|---|
| 位置決め時間 | センタリング：3 sec |
| 位置決め精度 | センタリング:±0.1 mm以内 オリフラノッチロケート：±0.1度以内 |
| センサ | LED照明付+イメージセンサユニットによるウェーハエッジ検出 |
| サイズ切替 | コマンド制御による切替または通信 |
| クリーン度 | ISOクラス2 (駆動部排気時) |
| 駆動方式 | 2相ステッピングモータ3軸使用（モータドライバ、コントローラ内蔵） |
| ユーティリティ | 電源：DC24V±10% 3A 真空：-53 kPa以上 |
