I型の真空吸着チャックです。
ウェーハサイズ200 mm以下の搬送に適しています。(ランダムアクセス対応)
大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。
チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。
※チャックは、ワークを搬送するためにロボットのアーム部先端に取り付けるもので、ワークに適した様々な形状及び材質があります。チャックは、別名でロボットハンドやエンドエフェクタとも呼ばれています。
被搬送物 | SEMI規格3インチ, 100〜200 mm 主にシリコンウェーハなど |
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材質 | 高純度アルミナセラミックス焼結体 |
表面処理 | 導電性テフロンコーティング |
ウェーハ保持方式 | 真空吸着 |
全長 | 200 mm |
厚み | 2 mm |