I型の真空吸着チャックです。
ウェーハサイズ200mm以下の搬送に適しています。（ランダムアクセス対応）
大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。
チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。

仕様

被搬送物	SEMI規格3インチ, 100mm～200mm 主にシリコンウェーハなど
材質	高純度アルミナセラミックス焼結体
表面処理	導電性テフロンコーティング
ウェーハ保持方式	真空吸着
全長	200mm
厚み	2mm

※チャックは、ワークを搬送するためにロボットのアーム部先端に取り付けるもので、ワークに適した様々な形状及び材質があります。
チャックは、別名でロボットハンドやエンドエフェクタとも呼ばれています。

外観図

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