300 mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。
振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。
振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。
搬送ロボットは水平多関節型を2台使用することにより、走行軸なしで4FOUPに対応し、1台のアライナでアライメントを行います。
対象キャリア | 300 mm FOUP (25枚) SEMI E47.1, E62準拠品 |
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対象ウェーハ | 300 mmシリコンウェーハ 厚さ775µm |
スループット | 600枚/h |
クリーン度 | ISOクラス2 (FFU搭載時) |
外形寸法 | W 1233x D 2160 x H 2000 |
質量 | 約800 kg |
ユーティリティ | 電源:単相 AC200V±15% 15A ドライエア:0.7MPa〜0.4MPa 真空:-60kPa以上 |
※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。