システム

SSY-10000(100 mmウェーハ卓上システム)卓上ローダシステム

  • SSY-10000(100 mmウェーハ卓上システム)

環境と仕様

製品概要

製品型式
SSY-10000
設置環境
クリーンルーム内大気
到達距離
225 mm (ワーク中心距離)
被搬送サイズ
〜100 mm
被搬送物
ガラス, サファイア, SiC, GaN等のウェーハ
詳細はお問合せください
可搬質量
0.1 kg(ワークのみ)

製品動画

製品特徴

2、3インチ、100 mmガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハに対応した卓上ローダーシステム。

  • ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム
  • X軸190 mm、Y軸200 mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能
  • 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能
  • ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現

標準仕様

被搬送物〜100 mmウェーハ (ガラス, サファイア, SiC, GaN, 等)
動作範囲ワーク中心到達距離:225 mm
旋回角度(θ軸)360度
上下ストローク(Z軸):150 mm
搬送速度
(平均速度)
アーム(R軸):225 mm/sec
旋回角度(θ軸):500度/sec
上下ストローク(Z軸):200 mm/sec
搬送速度
(最高速度)
アーム(R軸):300 mm/sec
旋回角度(θ軸):700度/sec
上下ストローク(Z軸):300 mm/sec
ウェーハ保持方式真空吸着による保持
繰り返し精度±0.1 mm以内
クリーン度ISOクラス2以下(駆動部排気時)
質量ロボット本体 約15 kg
ユーティリティ電源:AC100V±10% 0.2 kVA 真空:-53 kPa以上

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 外観図

  • SSY-10000

オプション

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