製品情報 | SSY-10000(100 mmウェーハ卓上システム)

SSY-10000(100 mmウェーハ卓上システム)卓上ローダシステム

製品特徴

2、3インチ、100 mmガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハに対応した卓上ローダーシステム。

標準仕様

被搬送物	〜100 mmウェーハ (ガラス, サファイア, SiC, GaN, 等)
動作範囲	ワーク中心到達距離：225 mm 旋回角度(θ軸)360度上下ストローク(Z軸)：150 mm
搬送速度（平均速度）	アーム(R軸)：225 mm/sec 旋回角度(θ軸)：500度/sec 上下ストローク(Z軸)：200 mm/sec
搬送速度（最高速度）	アーム(R軸)：300 mm/sec 旋回角度(θ軸)：700度/sec 上下ストローク(Z軸)：300 mm/sec
ウェーハ保持方式	真空吸着による保持
繰り返し精度	±0.1 mm以内
クリーン度	ISOクラス2以下（駆動部排気時）
質量	ロボット本体約15 kg
ユーティリティ	電源：AC100V±10% 0.2 kVA 真空：-53 kPa以上

被搬送物

〜100 mmウェーハ (ガラス, サファイア, SiC, GaN, 等)

動作範囲

ワーク中心到達距離：225 mm
旋回角度(θ軸)360度
上下ストローク(Z軸)：150 mm

搬送速度
（平均速度）

アーム(R軸)：225 mm/sec
旋回角度(θ軸)：500度/sec
上下ストローク(Z軸)：200 mm/sec

搬送速度
（最高速度）

アーム(R軸)：300 mm/sec
旋回角度(θ軸)：700度/sec
上下ストローク(Z軸)：300 mm/sec

ウェーハ保持方式

真空吸着による保持

繰り返し精度

±0.1 mm以内