システム

SSY-10010プロトスキャリア対応自動移載システム

  • SSY-10010 プロトスキャリア対応自動移載システム

環境と仕様

製品概要

製品型式
SSY-10010
設置環境
クリーンルーム内大気
対応カセット
200 mm カセット
200 mm プロトスキャリア
被搬送サイズ
200 mm
被搬送物
シリコンウェーハ, プロトススペーサ(層間紙)
ワークサイズ、プロトスキャリア数、カセット数、アライナ付等、各種対応致します。プロトスキャリアは各社対応致します。詳細はお問合せください。

製品動画

画像, 動画はSSY-10010です

製品特徴

プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送。

  • プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載
  • ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応
  • ウェーハとプロトススペーサ(層間紙)を自動識別
  • ワークの高さを自動認識
  • 複数カセット及び各インチサイズにも個別対応
  • プロトスキャリア蓋の自動開閉機構搭載(特許出願中)
  • アキレス社製プロトスキャリア対応
  • ファンフィルタユニット(HEPA仕様)を配置し、クリーン度を確保
  • カラーセンサ搭載により、色の異なるプロトススペーサ(層間紙)も検出可能(事前にご相談ください)

標準仕様

ワークサイズ、プロトスキャリア数、カセット数、アライナ付等、各種対応致します。
搬送物 200 mm シリコンウェーハ, 200 mm プロトススペーサ(層間紙)
対応カセット 200 mm プロトスキャリア, 200 mm カセット
クリーン度 ISOクラス2
外形寸法 W 1100 x D 980 x H 1805(mm)
ユーティリティ 電源:AC200V±10% ドライクリーンエア:0.5 MPa 250 NL/min以上
質量 600 kg

 外観図ダウンロード

 外観図

  • SSY-10010