SSY-11010（プロトスキャリア対応自動移載システム） 

プロトスキャリア、ウェーハカセット内の薄物ウェーハを高精度に自動搬送。
プロトスキャリア蓋の自動開閉機構搭載（特許出願中）

• プロトスキャリアにある、ウェーハとプロトススペーサ（層間紙）を自動識別
• パッケージ、アンパッケージ共に1台で対応可能です。
• プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載