搬送紹介動画

プロトスキャリア対応自動移載システム

SSY-11010(プロトスキャリア対応自動移載システム) 

プロトスキャリア、ウェーハカセット内の薄物ウェーハを高精度に自動搬送。
プロトスキャリア蓋の自動開閉機構搭載(特許出願中)

  • プロトスキャリアにある、ウェーハとプロトススペーサ(層間紙)を自動識別
  • パッケージ、アンパッケージ共に1台で対応可能です。
  • プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載