システム
SORTER SYSTEM150 mm
環境と仕様
製品概要
- 製品型式
- SORTER SYSTEM
- 設置環境
- クリーンルーム内大気
- 被搬送サイズ
- 150 mm
- 被搬送物
- ガラス, サファイア, GaAsウェーハ
詳細はお問合せください - スループット
- 140枚/h（装置側の処理時間は含みません）
製品動画
製品特徴
150 mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。
振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。
振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。
- 水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能
- Z軸ストローク500 mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能
- ロボットに反転軸を搭載することにより、下面処理の場合でも、処理面に接触することなく搬送が可能
- リストブロック部にマッピングセンサを搭載し、カセット内のウェーハを検出
- 開閉ドアは開閉検出センサを設け、ロボット動作中はロックされ安全面にも配慮
- ガラス(透明ワーク)対応アライナ搭載(SAL3361GR)
- お客様の装置との取り合いは任意に変更可能(HOST通信については別途対応）
- お客様の要求仕様に合わせたカスタマイズが可能
標準仕様
| 搬送物 | 150 mmウェーハ（ガラス, サファイア, GaAs） |
|---|---|
| 処理枚数 | 140枚/h (装置側の処理時間は含みません) |
| <GCR4210-500-AM> | |
| 動作範囲 | ワーク中心距離：672 mm 旋回角度(θ軸)：335度 上下ストローク(Z軸)：500 mm 反転軸：180度 |
| 搬送速度(平均速度) | アーム：550 mm/sec 旋回角度(θ軸)：300度/sec 上下ストローク(Z軸)：300 mm/sec |
| 搬送速度(最大速度) | アーム：900 mm/sec 旋回角度(θ軸)：400度/sec 上下ストローク(Z軸)：450 mm/sec |
| 反転ユニットなし吸着搬送時 | アーム：1800 mm/sec 旋回角度(θ軸)：540度/sec 上下ストローク(Z軸)：500 mm/sec |
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm以内 |
| <SAL3361GR> | |
| 位置決め精度 | センタリング ±0.2 mm以内 オリフラロケート ±0.2度以内 |
| 位置決め時間 | ノッチサーチ 3秒以内(持ち直し動作なしの場合) |
| 位置補正範囲 | 半径4mm以内 |
| <システム> | |
| ワーク保持方式 | 吸着による保持 |
| クリーン度 | ISO Class2(ISO14644) |
| フットプリント | 640 mm×835 mm(タッチパネルを除く) |
| 質量 | 約350 kg |
| ユーティリティ | 電源：単相 AC200V 15A 真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合) |
オプション
その他のオプション
※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。