システム

SSY-10020ロード/アンロードシステム

  • SSY-10020

環境と仕様

製品概要

製品型式
SSY-10020
設置環境
クリーンルーム内大気
被搬送サイズ
100 mmウェーハ, 330 mmサセプタ・トレイ
被搬送物
ウェーハ, サセプタ・トレイ
詳細はお問合せください

製品動画

製品特徴

LED用をはじめとする新しい搬送方式のウェーハ用搬送システムで、複数枚処理用のサセプタ・トレイへのウェーハの自動供給、自動回収が可能です。
ウェーハ用、サセプタ用にそれぞれアライナを搭載し、ウェーハのオリフラ位置やサセプタのセンタリング及びインデキシングを行います。

標準仕様

ワークサイズ、カセット数、アライナなど各種対応致します。 仕様につきましてはお問合せ下さい。

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 外観図

  • SSY-10020

オプション

その他のオプション

※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。