半導体搬送ロボット

SWCR3160CS (防水対応)3軸円筒座標型クリーンロボット

  • SWCR3160CS-400-PM

環境と仕様

製品概要

モデル名
SWCR3160CS
設置環境
クリーンルーム内大気
アーム
シングルアーム
到達距離
312 mm (第3関節中心距離)
昇降距離
200 mm / 300 mm
可搬質量
3 kg以下(第3関節換算)

製品動画

製品型式一覧

型式と昇降距離(mm)
SWCR3160CS-200-PM 200 mm
SWCR3160CS-300-PM 300 mm
  • 画像、動画はSWCR3160CS-200-PMです

製品特徴

防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです(300 mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付)。
水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。
薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。
保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています

  • アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保
  • アーム関節部防水構造にVシール使用
  • 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール
  • Z軸部防水構造にジャバラ使用
  • 動作モニター装備
  • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
  • 全軸2相ステッピングモータ使用
  • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
  • ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
  • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

標準仕様

※はSWCRエッジグリップチャックタイプ装着時の標準仕様の一例です
ロボット仕様
被搬送物 ~300 mmウェーハ
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 3軸
モータタイプ 2相パルスモータ
動作範囲※ アーム第3関節中心:312 mm
旋回角度(θ軸):340度
上下ストローク(Z軸):300 mm
搬送速度(平均)※ アーム(R軸):250 mm/sec
旋回角度(θ軸):120 度/sec
上下ストローク(Z軸):70 mm/sec
搬送速度(最高)※ アーム(R軸):500 mm/sec
旋回角度(θ軸):160度/sec
上下ストローク(Z軸):85 mm/sec
分解能※ アーム(R軸):49µm以下
旋回角度(θ軸):0.0214度
上下ストローク(Z軸):12.5µm以下
繰り返し精度 ±0.2 mm以内
ユーティリティ 電源:DC24V±10% 15A
正圧:0.15MPa
コントローラ仕様
コントローラ型式 C4000シリーズ
インタフェース RS232C及びパラレルフォトI/O

 外観図ダウンロード

 外観図(標準仕様)

  • SCR3100S

オプション

チャックユニット
その他のオプション

※仕様により上記ティーチングボックスが使用できない場合があります。

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