8. マッピング(ワークサーチ)を開始するとカセット上下にかかるワークの斜め置きが検出できない

原因
マッピング(ワークサーチ)ゲート幅に問題があります。
対処
設定6:ワーク検出ゲート幅の設定(WWG設定)  を現在より小さく設定してください。
ワーク検出ゲート幅は下図の説明の場合、斜めと検出するためゲート幅の設定が大きい場合、上下のゲート幅が重なりワーク斜めを検出できません。
  • 上下にかかるワークの斜め置きが検出できない場合の図

上記の場合は、1段目、2段目を斜めと判断します。

  1. コマンドPMでマッピング(ワークサーチ)スタート位置に移動します。
  2. コマンドWFSでマッピング(ワークサーチ)スタートします。
  3. コマンドWFKでウェーハの有無を読み出します。

段数分、ウェーハ有のときは "1" 、無のときは "0" になります。
厚み不良は "W" 、位置のはずれたもの(斜め)は "E" となります。