設定10:マッピング(ワークサーチ)実行後、マッピング(ワークサーチ)結果を読出します。
マッピング(ワークサーチ)結果の読出しはシリアル通信で行ないます。
この操作ではマッピング(ワークサーチ)結果の読み出しを行ないます。
- コマンド
- [$][B#][W][F][K][CR]
- コントローラからの応答
- [ > ][$][B#][WOK1][,][WOK2]~[,][WOK25][CR]
- 戻値(サーチ結果)(注1)
- 0:ウェーハ無
1:ウェーハ有
W:厚み異常
E:斜め
- 設定3:カセット段数の設定(WFC設定)分の読み出しを行い、上記の状態を表示します。
※仕様により状態表示内容は異なります。取扱説明書を参照してください。
- 例:ロボット$1、カセット25段、全てにワークあり、斜め置きや厚み異常が無い場合の出力
> $11,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1,1