展示会情報 2010年

SEMICON JAPAN 2010

会期

2010年12月1日(水) ～ 2010年12月3日(金)

主な展示機種

• SORTER SYSTEM (150mm用）
• サセプタ搬送真空ロボット＆真空アライナ：
  「SVCR3330S-060-PM＆SVAL30D1」
• 小型ロボット＆アライナ （2～4インチ用）：
  「SSCR3115N-150-PM＆SSCR2090S-PM＆SAL3241GR」
• 450mmウェーハ対応搬送ロボット：「GTCR5280-420-AM」
• 6ウェーハ搬送ロボット：「MTCR4160S-300-AM」
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