展示会情報 2010年

SEMICON JAPAN 2010

会期
2010年12月1日(水) ~ 2010年12月3日(金)
主な展示機種
  • SORTER SYSTEM (150mm用)
  • サセプタ搬送真空ロボット&真空アライナ:
    「SVCR3330S-060-PM&SVAL30D1」
  • 小型ロボット&アライナ (2~4インチ用):
    「SSCR3115N-150-PM&SSCR2090S-PM&SAL3241GR」
  • 450mmウェーハ対応搬送ロボット:「GTCR5280-420-AM」
  • 6ウェーハ搬送ロボット:「MTCR4160S-300-AM」