展示会情報 2010年
SEMICON JAPAN 2010
- 会期
- 2010年12月1日(水) ~ 2010年12月3日(金)
- 主な展示機種
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- SORTER SYSTEM (150mm用)
- サセプタ搬送真空ロボット&真空アライナ:
「SVCR3330S-060-PM&SVAL30D1」
- 小型ロボット&アライナ (2~4インチ用):
「SSCR3115N-150-PM&SSCR2090S-PM&SAL3241GR」
- 450mmウェーハ対応搬送ロボット:「GTCR5280-420-AM」
- 6ウェーハ搬送ロボット:「MTCR4160S-300-AM」
- 展示会詳細ページ