システム

SSY-11010プロトスキャリア対応自動移載システム

  • SSY-11010 プロトスキャリア対応自動移載システム

環境と仕様

製品概要

製品型式
SSY-11010
設置環境
クリーンルーム内大気
対応カセット
150 mm, 200 mm カセット
150 mm, 200 mm プロトスキャリア
被搬送サイズ
150 mm, 200 mm
被搬送物
シリコンウェーハ, プロトススペーサ(層間紙)
ワークサイズ、プロトス数、カセット数、アライナ付等、各種対応致します。
詳細はお問合せください

製品動画

画像, 動画はSSY-11010です

製品特徴

プロトスキャリア、ウェーハカセット内の薄物ウェーハを高精度に自動搬送します。

  • プロトスキャリアにある、ウェーハとプロトススペーサ(層間紙)を自動識別
  • パッケージ、アンパッケージ共に1台で対応可能です。
  • プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載
  • ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応
  • ワークの高さも自動認識
  • 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応
  • プロトスキャリアからのウェーハの取出、収納を確実に行える開口機構を搭載(特許出願中)
  • ファンフィルタユニット(HEPA仕様)を2基配置し、クリーン度を確保
  • カラーセンサ搭載により、色の異なるプロトススペーサ(層間紙)も検出可能

標準仕様

ワークサイズ、プロトス数、カセット数、アライナ付等、各種対応致します。
搬送物150 mm, 200 mm シリコンウェーハ, 150 mm, 200 mm プロトススペーサ(層間紙)
対応カセット150 mm, 200 mm プロトスキャリア, 150 mm, 200 mm カセット
クリーン度ISOクラス2
外形寸法W 1600 x D 1180 x H 1800(mm)
ユーティリティ電源:AC200V±10% クリーンエア:0.5 MPa 150 NL/min以上
質量600 kg

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 外観図

  • SSY-11010

プロトススペーサ(層間紙)を回収するポートと廃棄するポート(回収扉付)のいずれかを選択可能としています。 (外観図は廃棄ポート(回収扉付)の仕様となります。)