業界最小クラス、装置の小型化が可能な2インチ搬送システム。搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

2インチ搬送システム：

• TSCR3060N（2インチ大気搬送ロボット）
  当社標準比大気ロボット：フットプリント75%（□115x130 mm）, 容積比80%ダウン
• TSVCR3060N（2インチ真空ロボット）
  当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95 mm）, 容積比75%ダウン
• SAL1021（2インチ大気アライナ）
  当社標準比大気アライナ：フットプリント80%（□85x100 mm）, 容積比80%ダウン