搬送紹介動画

2インチ搬送システム

業界最小クラス、装置の小型化が可能な2インチ搬送システム。搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

2インチ搬送システム:

  • TSCR3060N(2インチ大気搬送ロボット)
    当社標準比大気ロボット:フットプリント75%(□115x130 mm), 容積比80%ダウン
  • TSVCR3060N(2インチ真空ロボット)
    当社標準比真空ロボット:フットプリント65%(φ95 mm), 容積比75%ダウン
  • SAL1021(2インチ大気アライナ)
    当社標準比大気アライナ:フットプリント80%(□85x100 mm), 容積比80%ダウン