300 mm搬送 SORTER SYSTEM（4ポートインラインタイプ 300枚/h） 

300 mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。

その他のSORTER SYSTEMの仕様：

• 300 mm搬送 SORTER SYSTEM（4ポート対向タイプ 400枚/h) 
• 300 mm搬送 SORTER SYSTEM（4ポートインラインタイプ 600枚/h) 
• 150 mm搬送 SORTER SYSTEM