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300 mm搬送 SORTER SYSTEM(4ポートインラインタイプ 300枚/h)
300 mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。
その他のSORTER SYSTEMの仕様: