ジェーイーエルプロトスキャリア対応自動搬送システム比較表

大気:プロトスキャリア対応自動搬送システム

   
型式 搬送物 対応カセット 外形寸法
SSY-10010 200 mm シリコンウェーハ
200 mm プロトススペーサ(層間紙)
200 mm プロトスキャリア
200 mm カセット
W 1100 mm
D 980 mm
H 1805 mm
SSY-11010 200 mm シリコンウェーハ
200 mm プロトススペーサ(層間紙)
200 mm プロトスキャリア
200 mm カセット
W 1600 mm
D 1305 mm
H 1800 mm
SSY-20010 300 mmシリコンウェーハ
300 mmプロトススペーサ(層間紙)
300 mmプロトスキャリア
300 mmカセット(FOUP)
W 1350 mm
D 1434 mm
H 1900 mm