| 型式 | 搬送物 | 対応カセット | 外形寸法 |
|---|---|---|---|
| SSY-10010 | 200 mm シリコンウェーハ 200 mm プロトススペーサ（層間紙） |
200 mm プロトスキャリア 200 mm カセット |
W 1100 mm D 980 mm H 1805 mm |
| SSY-11010 | 200 mm シリコンウェーハ 200 mm プロトススペーサ（層間紙） |
200 mm プロトスキャリア 200 mm カセット |
W 1600 mm D 1305 mm H 1800 mm |
| SSY-20010 | 300 mmシリコンウェーハ 300 mmプロトススペーサ（層間紙） |
300 mmプロトスキャリア 300 mmカセット（FOUP） |
W 1350 mm D 1434 mm H 1900 mm |