ウェーハチャック

品名:吸着チャック | 型式: 3D-01661 | メーカー: JEL



102,600円(税込)
カートに入れる:



以下の項目を入力して下さい:

  • 使用するロボットの製造番号



商品説明

Y型の真空吸着チャックです。
ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。(ランダムアクセス対応)
大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。
チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。

仕様
被搬送物 SEMI規格300mm 主にシリコンウェーハなど
材質 高純度アルミナセラミックス焼結体
表面処理 導電性テフロンコーティング
ウェーハ保持方式 真空吸着
全長 242mm
厚み 3mm

※チャックは、ワークを搬送するためにロボットのアーム部先端に取り付けるもので、ワークに適した様々な形状及び材質があります。
チャックは、別名でロボットハンドやエンドエフェクタとも呼ばれています。

外観図
外観図をダウンロードするには下記の画像又は製品名をクリックしてください。



※外観図をご覧いただくためには Adobe Reader が必要です。
インストールされていない場合はこちらからダウンロードしてください。
adobe reader



商品代金以外の必要料金について

免責事項

部品の交換に際しては、お客様の自己責任のもと行って下さい。お客様作業による、ロボットの故障及びその他不具合に関しましては、全て有償修理となりますので留意下さい。
また、これにより生じるお客様の損害に対し弊社は一切の責任を負いません。予めご了承下さい。

納期について

銀行振込の入金確認又は代引のお客様承諾後、通常3日以内の出荷となります。
※商品によっては在庫がない場合があります。在庫切れの場合は、別途納期をご連絡致します。


ネット通販

ログインしていません
ショッピングカートは空です。

商品検索

     

    オンラインのお客様

    現在 1 人のゲスト がご来店中です。