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防水対応 SWCR3160CS(300 mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付)
保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保し、アーム関節部防水構造にVシールを使用しています。
その他に、ツインアーム対応防水ロボット STWCR4160 があります。