搬送紹介動画

防水対応

防水対応 SWCR3160CS(300 mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付) 

保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。
アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保し、アーム関節部防水構造にVシールを使用しています。

その他に、ツインアーム対応防水ロボット STWCR4160  があります。