搬送紹介動画

マルチワークアライナ

マルチワークアライナ SAL3482HV 

多種多様なウェーハをアライメント可能な新型アライナ「SAL3000HVシリーズ」フルオート調整対応版。
各種ウェーハに対応した100~200 mm新型アライナ。
シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ(乳白色)付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずにアライメントが可能です。

その他に、2インチ~150 mmウェーハ対応 SAL3262HV  、200~300 mmウェーハ対応SAL38C3HV   があります。