マルチワークアライナ SAL3482HV
多種多様なウェーハをアライメント可能な新型アライナ「SAL3000HVシリーズ」フルオート調整対応版。 各種ウェーハに対応した100～200 mm新型アライナ。 シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ（乳白色）付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずにアライメントが可能です。
その他に、2インチ～150 mmウェーハ対応 SAL3262HV 、200～300 mmウェーハ対応SAL38C3HV があります。