マルチワークアライナ SAL3482HV 

多種多様なウェーハをアライメント可能な新型アライナ「SAL3000HVシリーズ」フルオート調整対応版。
各種ウェーハに対応した100～200 mm新型アライナ。
シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ（乳白色）付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずにアライメントが可能です。

その他に、2インチ～150 mmウェーハ対応 SAL3262HV  、200～300 mmウェーハ対応SAL38C3HV   があります。

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