STCR4160S(サセプタ・トレイ搬送仕様)

LED等の処理装置で使用されるサセプタ・トレイの搬送ができます。
システムのSSY-10020と組合せることによって、カセットからウェーハを供給されたサセプタ・トレイを装置に自動で搬送します。

その他に、真空対応ロボット SVCR3330S(サセプタ・トレイ搬送仕様)  があります。