STCR4160SN (クローズドループ制御)（円筒座標型ツインアームロボット）
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300 mmウェーハ対応の新型ロボット。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上しました。
その他に、シングルアーム対応ロボットSCR3160CSN (クローズドループ制御) があります。