搬送紹介動画

クローズドループ制御

STCR4160SN (クローズドループ制御)(円筒座標型ツインアームロボット) 

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300 mmウェーハ対応の新型ロボット。
急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上しました。

その他に、シングルアーム対応ロボットSCR3160CSN (クローズドループ制御)  があります。